激光剥蚀固体进样系统（LA）

　　仪器名称：激光剥蚀固体进样系统

　　仪器型号：RESOlutionS155-LR

　　生产厂家：澳大利亚 ASI公司

　　安放地点：实验楼208室

　　主要技术指标：

　　1.激光脉冲宽度：20ns

　　2.最大脉冲能量：200mJ

　　3.最大平均功率：4W

　　4.脉冲能量稳定性：＜1%RSD

　　5.最大重复频率：20Hz

　　6.最大能量密度：30J/cm²

　　7.圆形/方形斑束尺寸：2～380µm

　　8.矩形斑束尺寸：长度2～380µm、宽度2～380µm

　　9.样品台位置再现性：＜3µm 2sigma

　　10.样品台移动范围：155×105mm

　　主要功能及应用：

　　该激光剥蚀系统是采用ArF2准分子激光器为光源的新型193纳米深紫外波长激光剥蚀器，可对矿物、岩石、古生物化石，以及各类固体材料进行多种形态的刻蚀取样。

　　负责人：童喜润

　　电话：13349902807

　　E-mail：tongxirun@mail.cgs.gov.cn